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1、光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等 ， 是制造芯片的核心装备 。它采用类似照片冲印的技术 ， 把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上 。光刻机的种类可分为：接触式曝光、接近式曝光、投影式曝光 。
【光刻机是干嘛的 光刻机的简介】2、光刻机的工作原理是通过一系列的光源能量、形状控制手段 ， 将光束透射过画着线路图的掩模 ， 经物镜补偿各种光学误差 ， 将线路图成比例缩小后映射到硅片上 。然后使用化学方法显影 ， 得到刻在硅片上的电路图 。
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